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1.4 ¹¦ÂÊÒªÇó£º ×î´ó2500 W;
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2.2 Ö÷»ú
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2.3 ÖùÏä
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2.3.5 ½µÎÂËÙÂÊ£ºÖùÏäζȴÓ200 ¡æ½µÖÁ100¡æÊ±¼ä²»´óÓÚ3min£»
2.3.6 ³ÖÐøÔËÐÐʱ¼ä£º999.9£¨min£©¡£
2.4 ½øÑùϵͳ
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2.4.2 ½øÑù¿ÚÊýÁ¿£º×î¶à¿ÉÅä2¸ö£»
2.4.3 ½øÑùģʽ£ºÌî³ä½øÑù¡¢·ÖÁ÷ëϸ½øÑù¡¢·ÖÁ÷/²»·ÖÁ÷ëϸ½øÑù£»
2.4.4 ¿ÉÑ¡Åä½øÑùÐźŴ¥·¢×°Öã»
2.5 ¼ì²âϵͳ
2.5.1»ðÑæ¹â¶È¼ì²âÆ÷£¨FPD£©£º
2.5.2×î¸ßʹÓÃζȣº400¡æ£»
2.5.3×îС¼ì²âÏÞ£º¡Ü1.4¡Á10-12g/s(P) £¬¡Ü5¡Á10-11g/s(S)£»
2.5.4»ùÏßÔëÉù£º¡Ü20uv£¬»ùÏ߯¯ÒÆ£º¡Ü50uv/30min(ÒÇÆ÷Îȶ¨2Сʱºó)£»
2.5.5ÏßÐÔ¶¯Ì¬·¶Î§£ºP¡Ý103 S¡Ý102
2.5.2µªÁ×¼ì²âÆ÷£¨NPD£©£º
2.5.2.1×î¸ßʹÓÃζȣº400¡æ£»
2.5.2.2×îС¼ì²âÏÞ£ºN£º¡Ü1¡Á10-12g(N)/s(żµª±½)£¬P£º¡Ü5¡Á10-13g(P)/s(ÂíÀÁòÁ×)
2.5.2.3»ùÏßÔëÉù£º¡Ü20uv£¬»ùÏ߯¯ÒÆ£º¡Ü50uv/30min£»
2.5.2.4ÏßÐÔ¶¯Ì¬·¶Î§£ºN¡Ý103 P¡Ý103
2.6 ÆøÂ·¿ØÖƲÎÊý
2.6.1 ѹÁ¦µ¥Î»£ºpsi¡¢KPa¡¢barµÈ£»
2.6.2 ѹÁ¦¿ØÖÆ·¶Î§£º0¡«90 psi£»
2.6.3 ѹÁ¦¿ØÖƾ«¶È£º0.01 psi£»
2.7 ×Ô¶¯½øÑùÆ÷
2.7.1 ÑùÆ·ÅÌλÊý£º¡Ý16λ£»
2.7.2 ½øÑùÌå»ý£º0.1-100ul£»
2.7.3 È¡Ñù¾«¶È£º¡À0.01ul£»
2.7.4 ½øÑùÕëÀàÐÍ£º5¡¢10¡¢50¡¢100ul£»
2.7.5 ½øÑùÖØ¸´ÐÔ£º< 1.0%
2.8Ô×°Õý°æ·´¿ØÉ«Æ×²Ù×÷Èí¼þ
£¨ÎªÈ·±£Õý°æ£¬Ìṩ¼ÆËã»úÖø×÷ȨµÇ¼ÇÖ¤Ê鸴ӡ¼þ£¬¼Ó¸ÇͶ±êµ¥Î»¹«Õ£©
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2.8.2 Ö§³Ö¶àÄÚ±ê·ÖÎö¡£
2.8.3ÔÚÏß·´¿Ø¹¦ÄÜ£ºÊµÊ±¿ØÖƼ°¿ØÖƸ÷Ä£¿éµÄζȣ¬¿ÉËæÊ±µ÷³öζȿØÖÆÇúÏߣ¬°üÀ¨ÖùÏä¡¢½øÑù¿Ú¡¢¼ì²âÆ÷¼°¸¨Öú¼ÓÈÈÄ£¿é£¬Ìá¸ßÌõ¼þÃþË÷ЧÂÊ£»¿ÉËæÊ±µ÷·ÖÁ÷±ÈÊýÖµ¡¢ÈܼÁ´µÉ¨¼°´µÉ¨Ê±¼äÊýÖµµÈÒÔ±ãÌá¸ßÌõ¼þÃþË÷ЧÂÊ¡£
3¡¢ÅäÖÃÒªÇó
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3.2 FPD¼ì²âÆ÷1Ì×£»
3.3 ·ÖÁ÷/²»·ÖÁ÷ëϸ½øÑùϵͳ1Ì×£»
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3.6ÆøÌå¾»»¯Æ÷1̨¡¢Ã«Ï¸É«Æ×Öù1¸ù¡¢×¢Ñùµæ100¸ö¡¢Ê¯Ä«Ì×¼þ20Ì×£»
3.7ÆøÏàÉ«Æ×ÒÇËùÐèµÄÇâÆø·¢ÉúÆ÷£¨300ml/min£©¡¢¿ÕÆø·¢ÉúÆ÷£¨3000ml/min£©¡¢ÔØÆøÆøÌå¸ÖÆ¿(99.999%)¼°¼õѹ·§µÈ,¸÷1Ì×£»
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